Вакуумное масло обладает отличной вязкостью, хорошей химической стойкостью, а также хорошей устойчивость при откачке паров кислот и оснований. Это масло используют при первоначальном заполнении насосов серии RE/RZ/RC.

Многие откачиваемые пары могут портить обычное насосное масло, что часто приводит к механическим проблемам. Для предотвращения этого следует использовать специальные масла. Они поддерживают процесс смазывания в насосе и обеспечивают толерантность к действию химикатов. Обеспечивают ограниченную защиту от коррозии.